Substrat SrTiO3
Penerangan
Kristal tunggal SrTiO3 mempunyai struktur kekisi yang baik bagi bahan struktur perovskit.Ia adalah bahan substrat yang sangat baik untuk pertumbuhan epitaksi HTS dan kebanyakan filem oksida.Ia telah digunakan secara meluas dalam penyelidikan filem nipis superkonduktor suhu tinggi.Ia juga digunakan secara meluas dalam tingkap optik khas dan sasaran sputtering berkualiti tinggi.
Hartanah
Orientasi: (100) +/-0.5 Deg
Petunjuk orientasi tepi: <001> +/-2 Deg tersedia sebagai pilihan dengan kos tambahan
Menggilap: EPI sebelah digilap oleh teknologi CMP dengan kerosakan kekisi bawah permukaan yang kurang.
Pek: Dibungkus dalam beg plastik gred 100 di bawah 1000 bilik bersih kelas.
| Struktur Kristal | Kubik, a=3.905 A |
| Kaedah Pertumbuhan | Vernuil |
| Ketumpatan（g/cm3） | 5.175 |
| Takat Lebur（℃） | 2080 |
| Kekerasan (Mho) | 6 |
| Pengembangan Terma | 10.4 (x10-6/ ℃) |
| Pemalar Dielektrik | ~ 300 |
| Kehilangan Tangen pada 10 GHz | ~5x10-4@ 300K , ~3 x10-4@77K |
| Warna dan Rupa | Lutsinar (kadang-kadang perang sedikit berdasarkan keadaan penyepuhlindapan).Tiada kembar |
| Kestabilan Kimia | Tidak larut dalam air |
Definisi Substrat SrTiO3
Substrat SrTiO3 merujuk kepada substrat kristal yang diperbuat daripada sebatian strontium titanat (SrTiO3).SrTiO3 ialah bahan perovskit dengan struktur kristal padu, yang dicirikan oleh pemalar dielektrik yang tinggi, kestabilan haba yang tinggi, dan padanan kekisi yang baik dengan banyak bahan lain.
Substrat SrTiO3 digunakan secara meluas dalam bidang pemendapan filem nipis dan pertumbuhan epitaxial.Struktur padu SrTiO3 membolehkan pertumbuhan filem nipis berkualiti tinggi dengan kualiti kristal yang sangat baik dan ketumpatan kecacatan yang rendah.Ini menjadikan substrat SrTiO3 sangat sesuai untuk mengembangkan filem epitaxial dan heterostruktur untuk pelbagai aplikasi.
Pemalar dielektrik tinggi SrTiO3 menjadikannya sesuai untuk aplikasi seperti kapasitor, peranti memori dan filem nipis ferroelektrik.Kestabilan haba menjadikannya sesuai untuk aplikasi suhu tinggi.
Tambahan pula, sifat kepelbagaian SrTiO3, seperti kekonduksian logamnya pada suhu rendah dan kemungkinan mendorong keadaan superkonduktor, menjadikannya berguna untuk penyelidikan fizik bahan pekat dan pembangunan peranti elektronik dan optoelektronik.
Ringkasnya, substrat SrTiO3 ialah substrat kristal yang diperbuat daripada strontium titanate, yang biasanya digunakan dalam pemendapan filem nipis, pertumbuhan epitaxial, dan pelbagai aplikasi elektronik dan optoelektronik kerana pemalar dielektrik yang tinggi, kestabilan haba, dan sifat padanan kekisi yang baik.
